국내 업체도 8년전 '초고순도 불화수소' 제조법 특허 출원

국내 중소기업에서도 이미 8년 전 일본 수출 규제 품목 가운데 하나인 초고순도 불화수소, 에칭가스 제조 기술을 확보했던 것으로 나타났습니다.

특허정보 검색서비스에 따르면 산업기계 제조업체인 A 사는 2011년 7월 '초고순도 불산의 제조방법' 특허를 출원했고, 2013년 9월 특허가 등록됐습니다.

공개된 특허정보를 보면 이 제조법은 초음파 진동을 가하는 방법으로 불화수소 중에 수분을 제외한 불순물 성분이 10억분의 1만 남도록 하는 기술로, 특정 상황에서는 불순물 농도가 최저 100억분의 1까지도 줄어들 수 있습니다.

국내 반도체 업체들이 그동안 일본으로부터 수입하던 불화수소도 불순물이 100억분의 1 수준인 것으로 알려졌습니다.

다만, A 사는 특허 출원 이후 설비 투자 등의 문제로 생산과 판매까지는 나아가지 못한 것으로 전해졌습니다.