네덜란드 반도체 장비기업 ASML의 독일 베를린 공장에서 화재가 발생했다고 로이터 통신이 보도했습니다.
로이터 통신은 이 공장이 (EUV 노광장비에 들어가는) 웨이퍼 테이블 등 첨단 부품을 생산해 왔으며, 전 세계적인 반도체 부족 상황이 이어지면서 완전 가동 상태로 작업을 하고 있었다고 전했습니다.
ASML은 반도체 초미세 공정에 필수적인 극자외선 (EUV) 노광장비를 전 세계에서 유일하게 공급하고 있는 기업으로, 피해 규모에 따라 노광장비 생산에 차질이 생길 수 있다는 우려가 나옵니다.
ASML은 이번 화재가 노광장비 생산에 미칠 영향에 대해 말하기엔 아직 이르다고 말했습니다.
ASML은 정확한 피해 규모를 조사하고 있으며 조사가 끝나는 데는 며칠이 걸릴 것으로 보고 있습니다.
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