고출력 엑사이머레이저 발명, 이주희 경희대 전자공학 교수[신창섭]

[고출력 엑사이머레이저 발명, 이주희 경희대 전자공학 교수]

● 앵커: 자외선 가운데 파장이 가장 짧은 빛을 엑스하이머라고 부릅니다.

이 엑스하이머 레이저가 우리나라에서도 개발에 성공해서 반도체 가공처리 등 첨단산업 발전에 한 몫을 하게 됐다고 합니다.

신창섭 기자가 취재했습니다.

● 기자: 레이저를 발진시키기 위해서는 가스나 고체, 어떤식으로든 에너지를 주어야 합니다.

이 가운데 히 가스와 할로겐 가스 등을 섞은 장치에 에너지를 주면 자외선 가운데 파장이 가장 짧은 빛이 나옵니다.

전기방전에 의해 펑 하는 소리와 함께 순간적으로 나오는 그 빛이 바로 엑스하이머 레이저입니다.

경희대 이주희 교수가 5년간의 연구끝에 국내에서 처음으로 개발한 첨단 레이저 엑스하이머는 빛의 파장이 천만분의 일 정도로 전기 방전방식에 의해 만든 것입니다.

● 이주희 교수(경희대 전자공학 교수): 지금 나오고 있는 거가 100미리주율 정도에 나오는데 금년목표는 1초동안 100번정도 발생하는 100와트 정도의 레이저를 목표로 하고 있습니다.

그러기 위해서 주변 장치에 대한 연구가 또 레이저 발진 실험하고 병행해서 지금 시행하고 있습니다.

● 기자: 따라서 주변장치 완성으로 제멋대로 분산되는 짧은 빛이 한데 모아지면 엑스하이머레이저는 파장이 짧기 때문에 강한 출력을 냅니다.

이러한 고출력으로 인해 핵융합, 다이아몬드 표면처리등 고도 산업분야에 폭넓게 응용됩니다.

특히 빛에서 나오는 힘의 집중도가 높기 때문에 지금까지 수은 등으로 처리하던 반도체 가공을 더 매끄럽게 할 수 있어, 반도체 기술과 제품개발을 촉진시킬 것으로 기대됩니다.

MBC뉴스 신창섭입니다.

(신창섭 기자)